整合式氣體供氣與熱交換器模組

極特先進科技的整合式氣體供氣與熱交換模組是一個完整的模組，該模組包括測量儀器、管路以及各種控制裝置，可以有效地控制進出還原爐和轉化爐的所有氣體和水。

GT 為客戶特別設計了這套整合式氣體供氣與熱交換器模組，這套模組是我們綜合解決方案的組成部分。完整使用這套解決方案可確保您能以方便快捷、經濟而又有效的方式建成高品質矽生產工廠。

在實現 GT 轉化爐和所有 CVD 還原爐的高效運營時，這套模組是不可或缺的組成部分。整合式氣體供氣與熱交換模組的主要特點：

• 預編程 PLC 可對反應物料、吹掃氣流以及輸出氣流進行有效控制。
• 調節所有進入還原爐的冷卻水。