多晶矽加工系統

可降低產品污染的可靠多晶矽處理解決方案

極特先進科技多晶矽加工系統是一個完整的解決方案，可在化學氣相沉積 (CVD) 還原爐收集到最終產品封裝的過程中把發生產品污染的可能性降到最低。GT 多晶矽加工系統包括所有工程技術和設備，這在收集、運輸、處理和封裝我們在 SDR 系列 CVD 還原爐中生產的多晶矽棒必不可少。 該系統的配置可以有效率地收集長度達 3,000 毫米、直徑達 150 毫米的多晶矽棒。

多晶矽加工系統的特點與優點：

• 設備尺寸、數量和佈局均經過精密計算，可為實現可靠的多晶矽處理提供相應產能
• 其矽棒運輸容器旨在為產品從 CVD 還原爐收獲區域運輸至最終產品處理區域之間減少與外界的接觸
• 產品篩選和清潔室封裝區域的所有設備均以低污染材料製成
• 封裝系統的設計十分人性化，包括多晶矽產品最終封裝所需的全部設備

多晶矽加工系統成套產品：

• 製程流程圖
• 推薦設備佈局
• 製程設備 – 矽棒收獲設備、矽棒運輸容器、材料處理設備、產品篩分設備和產品封裝設備
• 設備手冊
• 安全程序
• 操作程序
• 現場安裝及啟動
• 現場員工培訓